案例1：半导体超纯水Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂安装

 案例1：半导体超纯水Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂安装

半导体晶圆制造超纯水终端精处理系统安装Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂，该款高纯度混床树脂专为半导体级超纯水设计，具有低TOC、无杂质析出特性，安装全程执行洁净车间规范。施工人员穿戴无尘服、无尘手套，树脂罐、管路采用高纯硝酸钝化+超纯水漂洗，彻底清除金属离子与微颗粒残留，避免污染Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂。罐内预注无氧超纯水，采用密闭隔膜泵装填Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂，全程无尘操作，避免粉尘、异物混入。控制装填流速平缓，Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂床层均匀密实，无结块、无碎粒，装填高度严格遵循设计要求，预留标准反洗膨胀空间。安装完毕后，用超纯水低速循环冲洗，监测出水电阻率、TOC与微颗粒数量，直至电阻率稳定≥18.2MΩ·cm、TOC≤2ppb。Lanxess朗盛LEWATIT UltraPure 1292离子交换树脂冲洗耗时短、活化快，出水稳定达标，满足半导体晶圆超纯水严苛标准。